Équipements – salles propres

Banc humide

Hottes à écoulement laminaire

Communément appelées «banc humide» utilisées pour les opérations de nettoyage, d'attaques chimiques, etc. avec un système de production d’eau déionisée.

 

Edwards

Système d’évaporation sous vide conventionnel à chauffage de creuset par effet Joule (Edwards)

 Le système est dédié aux métaux à faible pression de vapeur et/ou ayant un fort risque de contamination. 

  •  Métaux disponibles: Al, Au, AuGe, AuSb, AuZn, Bi, Nichrome, Pb, Zn

SLOAN

Système d’évaporation sous vide à canon à électrons (SLOAN)

Le système est muni d’un carrousel pouvant recevoir quatre creusets. Le système possède également une chambre étendue pour une plus grande distance entre la source et l’échantillon permettant d’éviter une surchauffe lors de métallisation épaisse pour des procédés de «lift-off». De plus, un porte-échantillon spécial permet le dépôt à angle variable. La plupart des métaux ou alliages peuvent être déposés.

  • Matériaux disponibles : Ag, Al, Au, AlF3, Al2O3, B, Co, Cr, Cu, Ge, Ir, Mo, MgF2, Ni, Pd, Pt, Si, SiO2, SrF2, Ta, Ti

 

evap intelvac

Système de déposition multiple (Intelvac)

ce système est muni d’un système d’évaporation sous vide à canon à électrons avec un carrousel pouvant recevoir quatre creusets. Il possède également une source de pulvérisation cathodique RF (cible de 2¨) et une gravure plasma (Ar,O2).

  • Matériaux standards disponibles pour l’évaporation sont: Au, Cr, Ti, Ag, Ni, Ge, Cu, Y, Al, Pt
  • Cibles de pulvérisation disponibles: Ag, Al, Cu, Cr, Nb, Ni, NiCr, Si, SiO2, Ta, TiN, Y

 

Ion Milling

Système de gravure par faisceaux d’ions (Ar) (Intelvac) 

Ce système permet la gravure de matériaux à angle variable avec SIMS (spectroscopie de masse des ions secondaires ) intégré permettant de connaître le matériau gravé.

 

Profilomètre Tencor

Profilomètre (Tencor Instruments, Alpha-step 200)

 Ce système permet la mesure d’épaisseur de couches minces avec une précision d’environ 1 nanomètre.

 

Nikon

Microscope optique (Nikon)

Microscope optique binoculaire avec caméra et capture d’image sur ordinateur

  • Objectifs de 5, 10, 20, 50 et 100 X (oculaire 10 X procurant un grossissement global de 50, 100, 200, 500 et 1000 X)
  • Caméra numérique, connectée à un PC
  • Éclairage diascopique et épiscopique
  • Observation en champ clair ou champ foncé
  • Filtres polarisants (polariseur, analyseur)

 

Lesker

Système d’évaporation sous vide à canon à électrons (Kurt J Lesker)

Le système est muni d’un carrousel pouvant recevoir 4 creusets. Le système est dédié aux métaux magnétiques et pour le dépôt de contacts

  • Métaux disponibles : Co, CoBFe, Ti, Au

 

Microsoudeuse (Kulicke & Soffa Model 4124)

Microsoudeuse à chauffage par ultrasons pour la soudure de fils d’or sur les échantillons

 

WireBonderSP2

Microsoudeuse (Kulicke & Soffa Model 4700)

Microsoudeuse à chauffage par ultrasons pour la soudure de fils d’or ou fils d’aluminium sur les échantillons. Mode ball bonding ET wedge bonding. Diamètre des fils 25 um.

 

Sf-100Xpress

Système de photolithographie par écriture directe (Intelligent Micro Patterning, SF-100 XPress)

  • Résolution : 5 um
  • Accepte les fichiers: bitmap et dxf

EtaleuseLaurell

Étaleuse de résine (Laurell)

 Étalement de photorésines ou électrorésines

  • accepte les substrats de diamètre jusqu'à 6" ou les substrats carrés 4"x4".
  • choix de porte-échantillons avec possibilité d'utiliser de petits échantillons (environ 3 mm x 3 mm).
  • cycles d'étalement programmables. Jusqu'à 50 étapes par cycle. Durée, vitesse de rotation (de 100 à 6000 rpm), accélération/décélération ajustables pour chaque étape du cycle.